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Micro-Hybrid 雙通道碳?xì)浠餆犭姸烟綔y器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電偶雙探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于過濾器的參數(shù)，檢測器非常適合測量碳?xì)浠衔铮℉C）的濃度。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測與上游濾光片的透射范圍相對應(yīng)的光譜范圍。

Micro-Hybrid 雙通道二氧化硫熱電堆探測器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電偶雙探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。它用于通過參考通道測量二氧化硫。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測與上游濾光片的透射范圍相對應(yīng)的光譜范圍。

Micro-Hybrid 單通道一氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆單通道探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。濾光片的參數(shù)使檢測器非常適合測量一氧化碳（CO）的濃度。

Micro-Hybrid 單通道二氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆單通道探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于濾光片的參數(shù)，該檢測器非常適合測量二氧化硫（SO2）的濃度。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測光譜范圍，該光譜范圍對應(yīng)于各個上游濾光片的透射范圍。

Micro-Hybrid 單通道溫度熱電堆探測器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度單通道熱電堆探測器，用于非接觸式溫度測量。

Micro-Hybrid 單通道高溫紅外熱電堆探測器 高靈敏度的單通道熱電堆檢測器，用于高溫范圍內(nèi)的NDIR氣體分析。 它可以在高達(dá)190°C的環(huán)境溫度下進(jìn)行測量。由于采用了焊接過濾器，檢測器對水分和其他環(huán)境影響不敏感。

Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測器基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆四極桿探測器，帶有可單獨(dú)組合的濾光片，用于氣體分析。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實(shí)現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構(gòu)的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實(shí)黑體輻射特性的紅外源。強(qiáng)大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達(dá)850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)較高的輻射強(qiáng)度。除了高紅外輸出強(qiáng)度外，我們成功開發(fā)的重點(diǎn)還在于長期穩(wěn)定性。